檢索結果：共6筆資料 檢索策略： "plasma".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="黃柏仁"
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本論文主要探討奈米鑽石薄膜藉由不同後處理方式以及摻雜氮與未摻雜之特性分析，並使用EGFET架構應用於氫離子感測器，後續進行pH靈敏度量測以及探討靈敏度與奈米鑽石薄膜之間的關聯性。 實驗內容主要是…
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本論文主要是利用熱化學氣相沉積法成長二氧化矽奈米線，利用XeF準分子雷射系統對二氧化矽奈米線進行不同雷射能量之前處理與後處理，使用電子顯微鏡、富利葉轉換紅外線光譜儀及X射線光電子能譜儀光譜分析其特性…
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本論文主要是探討奈米碳管結合氧化銦形成的複合薄膜，經不同溫度熱氧化以及調配不同濃度的碳管溶液，最後經過微波電漿處理，以EGFET的架構，應用於pH酸鹼度的感測器，進行I-V曲線圖、pH感測度量測，並…
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本論文分為二部分，第一部分探討石墨烯堆疊不同層數於氮化矽基板結構之氨氣感測器，並進行物性及電性之分析；第二部分探討二硫化銅銦量子點-石墨烯複合奈米結構之氨氣感測器，並進行物性及電性之分析。 本研究…
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本論文探討分為兩部分，第一部分用微波電漿化學氣相系統(MPCVD)成長奈米鑽石薄膜，利用不同製程氣體比例(氬氣、氮氣、甲烷、氫氣)與氧電漿後處理改變薄膜品質；第二部分探討兩種製程之矽奈米線對pH靈敏…
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利用偏壓輔助微波電漿沉積系統沉積高導電性奈米鑽石薄膜，量測場發特性可得到非常好的turn on 電壓。氧化鋅有優良的紫外光感測，將超奈米鑽石和氧化鋅奈米柱可以提升其紫外光感測